射频微等离子体特点分析
公司资讯 / 2023-11-02
什么是射频微等离子体 射频微等离子体是一种利用射频电场激发气体分子产生等离子体的技术。射频微等离子体的特点是能够在低温下产生高浓度的等离子体,而且能够对不同的材料表面进行精确而均匀的处理。射频微等离子体广泛应用于表面处理、半导体制造、生物医学等领域。 射频微等离子体的工作原理 射频微等离子体的工作原理是利用射频电场激发气体分子产生等离子体。在射频微等离子体设备中,通过射频电源提供高频电场,将气体分子激发成高能态,进而发生电离。电离后的气体分子形成等离子体,这些等离子体可以通过射频电场的作用被束